Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28291
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЗайков, В. А.-
dc.contributor.authorГайдук, П. И.-
dc.contributor.authorНовиков, А. Г.-
dc.date.accessioned2013-01-08T11:51:48Z-
dc.date.available2013-01-08T11:51:48Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.ru
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/28291-
dc.description.abstractРассмотрено влияние импульсного лазерного отжига на структурные и морфологические свойства слоев Ge на кремниевых подложках, выращенных химическим осаждением из газовой фазы. Методом растровой электронной мик- роскопии установлены режимы лазерной обработки, при которых происходит планаризация поверхности слоев Ge, а также их полное проплавление по толщине.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ ТОНКИХ ПЛЕНОК ГЕРМАНИЯ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ ГАЗОФАЗНЫМ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Зайков -испр.pdf623,35 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.