Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/282602| Заглавие документа: | Быстрое термическое формирование слоев карбида кремния на пористом кремнии: аннотация дипломной работы / Кирилл Дмитриевич Ермаленок; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Лобанок Михаил Владимирович |
| Авторы: | Ермаленок, Кирилл Дмитриевич |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск: БГУ |
| Аннотация: | Цель работы: Изучить формирование тонких слоев карбида кремния методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремниевой подложки с буферным слоем пористого кремния. |
| Аннотация (на другом языке): | The aim of the work is to study the formation of thin layers of silicon carbide by rapid vacuum—thermal carbidization of a silicon substrate with a buffer layer of porous silicon. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/282602 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Физическая электроника. 2022 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Ermalenok_rfe_ref.pdf | 240,73 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.