Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/282602| Title: | Быстрое термическое формирование слоев карбида кремния на пористом кремнии: аннотация дипломной работы / Кирилл Дмитриевич Ермаленок; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Лобанок Михаил Владимирович |
| Authors: | Ермаленок, Кирилл Дмитриевич |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск: БГУ |
| Abstract: | Цель работы: Изучить формирование тонких слоев карбида кремния методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремниевой подложки с буферным слоем пористого кремния. |
| Abstract (in another language): | The aim of the work is to study the formation of thin layers of silicon carbide by rapid vacuum—thermal carbidization of a silicon substrate with a buffer layer of porous silicon. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/282602 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Физическая электроника. 2022 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ermalenok_rfe_ref.pdf | 240,73 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.