Быстрое термическое формирование слоев карбида кремния на пористом кремнии: аннотация дипломной работы / Кирилл Дмитриевич Ермаленок; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Лобанок Михаил Владимирович

Ермаленок, Кирилл Дмитриевич

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/282602

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ермаленок, Кирилл Дмитриевич	-
dc.date.accessioned	2022-06-27T05:05:35Z	-
dc.date.available	2022-06-27T05:05:35Z	-
dc.date.issued	2022	-
dc.identifier.uri	https://elib.bsu.by/handle/123456789/282602	-
dc.description.abstract	Цель работы: Изучить формирование тонких слоев карбида кремния методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремниевой подложки с буферным слоем пористого кремния.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Минск: БГУ	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Быстрое термическое формирование слоев карбида кремния на пористом кремнии: аннотация дипломной работы / Кирилл Дмитриевич Ермаленок; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Лобанок Михаил Владимирович	ru
dc.type	annotation	ru
dc.rights.license	CC BY 4.0	ru
dc.description.alternative	The aim of the work is to study the formation of thin layers of silicon carbide by rapid vacuum—thermal carbidization of a silicon substrate with a buffer layer of porous silicon.	ru
Appears in Collections:	Физическая электроника. 2022

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Ermalenok_rfe_ref.pdf		240,73 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar