Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28237| Title: | МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ БОРА И ФОСФОРА |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Исследовано изменение прочностных характеристик в процессе быстрой термической обработки пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора. Имплантация способствует приповерхностному упрочнению монокристал- лов кремния. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к резкому снижению микротвердости в приповерхно- стной области монокристалла на глубинах до 1 мкм и увеличению трещиностойкости (росту К1С и γ) при малых нагруз- ках. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого терми- ческого отжига. Обсуждается механизм приповерхностного радиационного упрочнения кремния. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28237 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Вабищевич-Просолович-1.pdf | 250,19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.