МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ БОРА И ФОСФОРА

Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28237

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Вабищевич, С. А.	-
dc.contributor.author	Вабищевич, Н. В.	-
dc.contributor.author	Бринкевич, Д. И.	-
dc.date.accessioned	2013-01-08T07:52:54Z	-
dc.date.available	2013-01-08T07:52:54Z	-
dc.date.issued	2011	-
dc.identifier.citation	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.	ru
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/28237	-
dc.description.abstract	Исследовано изменение прочностных характеристик в процессе быстрой термической обработки пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора. Имплантация способствует приповерхностному упрочнению монокристал- лов кремния. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к резкому снижению микротвердости в приповерхно- стной области монокристалла на глубинах до 1 мкм и увеличению трещиностойкости (росту К1С и γ) при малых нагруз- ках. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого терми- ческого отжига. Обсуждается механизм приповерхностного радиационного упрочнения кремния.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ БОРА И ФОСФОРА	ru
dc.type	conference paper	ru
Appears in Collections:	2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Вабищевич-Просолович-1.pdf		250,19 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar