Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28237Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-01-08T07:52:54Z | - |
| dc.date.available | 2013-01-08T07:52:54Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28237 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано изменение прочностных характеристик в процессе быстрой термической обработки пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора. Имплантация способствует приповерхностному упрочнению монокристал- лов кремния. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к резкому снижению микротвердости в приповерхно- стной области монокристалла на глубинах до 1 мкм и увеличению трещиностойкости (росту К1С и γ) при малых нагруз- ках. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого терми- ческого отжига. Обсуждается механизм приповерхностного радиационного упрочнения кремния. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ БОРА И ФОСФОРА | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Вабищевич-Просолович-1.pdf | 250,19 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.