Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28237
Title: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ БОРА И ФОСФОРА
Authors: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2011
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.
Abstract: Исследовано изменение прочностных характеристик в процессе быстрой термической обработки пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора. Имплантация способствует приповерхностному упрочнению монокристал- лов кремния. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к резкому снижению микротвердости в приповерхно- стной области монокристалла на глубинах до 1 мкм и увеличению трещиностойкости (росту К1С и γ) при малых нагруз- ках. Полученные экспериментальные результаты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого терми- ческого отжига. Обсуждается механизм приповерхностного радиационного упрочнения кремния.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/28237
Appears in Collections:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Вабищевич-Просолович-1.pdf250,19 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.