Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28234| Title: | ОСОБЕННОСТИ ДИФФУЗИИ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ ОТЖИГЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ |
| Authors: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Исследовано поведение ионно-имплантированных примесей редкоземельных элементов в кремнии в процессе постимплантационного отжига. Установлена зависимость эффективности миграции редкоземельных элементов в зави- симости от вида и дозы дополнительно внедренных основных легирующих примесей (B,Sb,P). Наблюдаемые эффекты обусловлены диффузией иттербия к поверхности как под действием упругих напряжений несоответствия, так и вслед- ствие повышенного содержания вакансий в аморфизованном приповерхностном слое. Существенную роль играет так- же движение данной примеси вместе с фронтом рекристаллизации. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28234 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бринкевич-Просолович-2.pdf | 287,75 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.