Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28234Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-01-08T07:48:46Z | - |
| dc.date.available | 2013-01-08T07:48:46Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28234 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано поведение ионно-имплантированных примесей редкоземельных элементов в кремнии в процессе постимплантационного отжига. Установлена зависимость эффективности миграции редкоземельных элементов в зави- симости от вида и дозы дополнительно внедренных основных легирующих примесей (B,Sb,P). Наблюдаемые эффекты обусловлены диффузией иттербия к поверхности как под действием упругих напряжений несоответствия, так и вслед- ствие повышенного содержания вакансий в аморфизованном приповерхностном слое. Существенную роль играет так- же движение данной примеси вместе с фронтом рекристаллизации. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ОСОБЕННОСТИ ДИФФУЗИИ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ ОТЖИГЕ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бринкевич-Просолович-2.pdf | 287,75 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.