Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28225| Title: | НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ |
| Authors: | Величко, О. И. Гундорина, Е. А. Аксенов, В. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Показано, что при термообработках слоев кремния, предварительно аморфизованных внедрением ионов германия и затем имплантированных ионами бора, перенос примеси вплоть до температуры 850 оС осуществляется посредством длиннопробежной миграции неравновесных межузельных атомов бора. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28225 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Величко-Гундорина.doc | 63,5 kB | Microsoft Word | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.