НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ

Величко, О. И.; Гундорина, Е. А.; Аксенов, В. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28225

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Величко, О. И.	-
dc.contributor.author	Гундорина, Е. А.	-
dc.contributor.author	Аксенов, В. В.	-
dc.date.accessioned	2013-01-08T07:35:02Z	-
dc.date.available	2013-01-08T07:35:02Z	-
dc.date.issued	2011	-
dc.identifier.citation	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.	ru
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/28225	-
dc.description.abstract	Показано, что при термообработках слоев кремния, предварительно аморфизованных внедрением ионов германия и затем имплантированных ионами бора, перенос примеси вплоть до температуры 850 оС осуществляется посредством длиннопробежной миграции неравновесных межузельных атомов бора.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ	ru
dc.type	conference paper	ru
Appears in Collections:	2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Величко-Гундорина.doc		63,5 kB	Microsoft Word	View/Open

Show simple item record Google Scholar