Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28225| Заглавие документа: | НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ |
| Авторы: | Величко, О. И. Гундорина, Е. А. Аксенов, В. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | Показано, что при термообработках слоев кремния, предварительно аморфизованных внедрением ионов германия и затем имплантированных ионами бора, перенос примеси вплоть до температуры 850 оС осуществляется посредством длиннопробежной миграции неравновесных межузельных атомов бора. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28225 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Величко-Гундорина.doc | 63,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.