Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28114| Title: | ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ |
| Authors: | Котов, Д. А. Ясюнас, А. А. Родионов, Ю. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Проведены аналитические исследования конструкций и рабочих характеристик источников ионов для обработки подложек площадью более 100 см2. Показаны физические закономерности и ограничения существующих ионно- лучевых устройств обеспечивающих неравномерность обработки подложек большой площади +5% и менее. Предложе- на концепция построения ионно-лучевых источников ионов на основе источников индуктивно-связанной плазмы высо- кой плотности. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28114 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Я-Котов.pdf | 241,48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.