Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28114Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Ясюнас, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Родионов, Ю. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-01-04T10:39:10Z | - |
| dc.date.available | 2013-01-04T10:39:10Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28114 | - |
| dc.description.abstract | Проведены аналитические исследования конструкций и рабочих характеристик источников ионов для обработки подложек площадью более 100 см2. Показаны физические закономерности и ограничения существующих ионно- лучевых устройств обеспечивающих неравномерность обработки подложек большой площади +5% и менее. Предложе- на концепция построения ионно-лучевых источников ионов на основе источников индуктивно-связанной плазмы высо- кой плотности. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Я-Котов.pdf | 241,48 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.