Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28085| Title: | ОПТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ |
| Authors: | Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Рассматриваются одноканальные и двухканальные алгоритмы оптического управления расходом реактивного газа в процессах магнетронного осаждения пленок оксида и нитрида титана. Определяется влияние нестабильности мощно- сти магнетронного разряда и давления в вакуумной камере на состав осаждаемого потока, состав газовой среды и ско- рость осаждения пленочного покрытия для различных алгоритмов оптического управления расходом реактивного газа. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28085 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков.pdf | 243,6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.