Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28085Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бурмаков, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Кулешов, В. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-01-04T09:16:22Z | - |
| dc.date.available | 2013-01-04T09:16:22Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28085 | - |
| dc.description.abstract | Рассматриваются одноканальные и двухканальные алгоритмы оптического управления расходом реактивного газа в процессах магнетронного осаждения пленок оксида и нитрида титана. Определяется влияние нестабильности мощно- сти магнетронного разряда и давления в вакуумной камере на состав осаждаемого потока, состав газовой среды и ско- рость осаждения пленочного покрытия для различных алгоритмов оптического управления расходом реактивного газа. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ОПТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков.pdf | 243,6 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.