Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28085
Title: ОПТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ
Authors: Бурмаков, А. П.
Кулешов, В. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2011
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.
Abstract: Рассматриваются одноканальные и двухканальные алгоритмы оптического управления расходом реактивного газа в процессах магнетронного осаждения пленок оксида и нитрида титана. Определяется влияние нестабильности мощно- сти магнетронного разряда и давления в вакуумной камере на состав осаждаемого потока, состав газовой среды и ско- рость осаждения пленочного покрытия для различных алгоритмов оптического управления расходом реактивного газа.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/28085
Appears in Collections:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Бурмаков.pdf243,6 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.