Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28085| Заглавие документа: | ОПТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ |
| Авторы: | Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | Рассматриваются одноканальные и двухканальные алгоритмы оптического управления расходом реактивного газа в процессах магнетронного осаждения пленок оксида и нитрида титана. Определяется влияние нестабильности мощно- сти магнетронного разряда и давления в вакуумной камере на состав осаждаемого потока, состав газовой среды и ско- рость осаждения пленочного покрытия для различных алгоритмов оптического управления расходом реактивного газа. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28085 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков.pdf | 243,6 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.