Технологические процессы в современной микро- и наноэлектронике и методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-10669/уч.

Просолович, Владислав Савельевич; Оджаев, Владимир Борисович

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/280333

Title:	Технологические процессы в современной микро- и наноэлектронике и методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-10669/уч.
Authors:	Просолович, Владислав Савельевич Оджаев, Владимир Борисович
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	30-May-2022
Publisher:	БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники
Abstract:	В данном курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на технологические процессы изготовления устройств микро- и наноэлектроники. Приводятся возможности и ограничения важнейших методов исследования материалов на различных стадиях технологических процессов. Дисциплина изучается в 7 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен.
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/280333
Licence:	info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
Appears in Collections:	Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Тех.проц.в современной микро- и наноэлектронике и методы иссл-ия электрон.ст-р.pdf		768,45 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar