Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/280333Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Просолович, Владислав Савельевич | - |
| dc.contributor.author | Оджаев, Владимир Борисович | - |
| dc.date.accessioned | 2022-05-31T11:37:09Z | - |
| dc.date.available | 2022-05-31T11:37:09Z | - |
| dc.date.issued | 2022-05-30 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/280333 | - |
| dc.description.abstract | В данном курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на технологические процессы изготовления устройств микро- и наноэлектроники. Приводятся возможности и ограничения важнейших методов исследования материалов на различных стадиях технологических процессов. Дисциплина изучается в 7 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.title | Технологические процессы в современной микро- и наноэлектронике и методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-10669/уч. | ru |
| dc.type | syllabus | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Тех.проц.в современной микро- и наноэлектронике и методы иссл-ия электрон.ст-р.pdf | 768,45 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.