Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/276419| Title: | Модифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Михалкович Олег Михайлович ; Белорусский государственный университет |
| Authors: | Михалкович, Олег Михайлович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургия ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Механика 01.04.07 – Физика конденсированного состояния |
| Issue Date: | 2022 |
| Abstract: | Цели работы – выявление особенностей физических процессов взаимодействия компонентов пленки с подложкой, происходящих при ассистированном собственными ионами осаждении Ti, Co на кремний после облучения его ионами Xe + и определение поверхностных свойств пленок Mo на стекле. |
| Abstract (in another language): | Aim of the work: revealing the features of the physical processes of interaction of the film components with the substrate at the self-ion assisted deposition of Ti, Co on silicon after Xe + ion irradiation and determining the surface properties of Mo films on glass. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/276419 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Авторефераты диссертаций, защищенных в 2022 г. (Д 02.01.16 — физико-математические науки) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Автореферат 01.04.07 Михалкович.pdf | 386,93 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.