Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/276419
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.date.accessioned2022-03-09T06:22:52Z-
dc.date.available2022-03-09T06:22:52Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/276419-
dc.description.abstractЦели работы – выявление особенностей физических процессов взаимодействия компонентов пленки с подложкой, происходящих при ассистированном собственными ионами осаждении Ti, Co на кремний после облучения его ионами Xe + и определение поверхностных свойств пленок Mo на стекле.ru
dc.language.isoruru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленностьru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургияru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроениеru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Механикаru
dc.subject01.04.07 – Физика конденсированного состоянияru
dc.titleМодифицирование структуры и химического состава кремния и стекла при ионном облучении и ионно-плазменном осаждении металлических пленок (Ti, Co, Mo) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Михалкович Олег Михайлович ; Белорусский государственный университетru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
dc.description.alternativeAim of the work: revealing the features of the physical processes of interaction of the film components with the substrate at the self-ion assisted deposition of Ti, Co on silicon after Xe + ion irradiation and determining the surface properties of Mo films on glass.ru
Располагается в коллекциях:Авторефераты диссертаций, защищенных в 2022 г. (Д 02.01.16 — физико-математические науки)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Автореферат 01.04.07 Михалкович.pdf386,93 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.