Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271727| Title: | Структурные и оптические свойства тонких пленок оксида титана на полупроводниковых подложках |
| Other Titles: | Structural and optical properties of titanium oxide thin films on semiconductor substrates / I. V. Ivashkevich |
| Authors: | Ивашкевич, И. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Квантовая электроника : материалы XIII Междунар. науч.-техн. конференции, Минск, 22–26 ноября 2021 г. / БГУ, НИИ прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ, Ин-т физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси, Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований ; [редкол.: М. М. Кугейко (отв. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 138-141. |
| Abstract: | Проведены исследования в видимой области спектра оптических свойств пленок оксида титана и их зависимость от условий формирования пленок методом ВЧ магнетронного напыления. Сравнительный анализ рассчитанных спектров показателя преломления показал, что в значительной мере на ход дисперсионных кривых оказывает температура подложки. Увеличение температуры подложки приводило к увеличению показателя преломления пленки. Еще одним фактором, влияющим на оптические свойства пленок оксида титана, оказался состав газовой среды, в которой происходит распыление мишени. Увеличение процентного содержания аргона в газовой смеси приводит к уменьшению показателя преломления пленки. Установлено наличие неоднородного переходного слоя между кремниевой подложкой и пленкой оксида титана |
| Abstract (in another language): | The relationship between the optical properties of titanium oxide films and the conditions for the formation of these films by HF magnetron sputtering has been established. An increase in the substrate temperature leads to an increase in the refractive index of the film in the visible region of the spectrum. An increase in the percentage of argon in the gas mixture leads to a decrease in the refractive index of the film. The presence of an inhomogeneous transition layer between the silicon substrate and the titanium oxide film has been established |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271727 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Number, date deposit: | № 010503112021, Деп. в БГУ 03.11.2021 |
| Appears in Collections: | 2021. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 138-141.pdf | 1,03 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.