Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271670| Заглавие документа: | ИК прозрачность структур с островковым поверхностным слоем, сформированным методом селективного лазерного отжига |
| Другое заглавие: | IR transparency of structures with an island surface layer formed by selective laser annealing / A.I. Mukhammad, V.O. Nalivaiko, I.R. Koshelev, G.D. Ivlev, P.I. Gaiduk, O.Yu. Nalivaiko, V.V. Kolos |
| Авторы: | Мухаммад, А. И. Наливайко, В. О. Кошелев, И. Р. Ивлев, Г. Д. Гайдук, П. И. Наливайко, О. Ю. Колос, В. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Квантовая электроника : материалы XIII Междунар. науч.-техн. конференции, Минск, 22–26 ноября 2021 г. / БГУ, НИИ прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ, Ин-т физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси, Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований ; [редкол.: М. М. Кугейко (отв. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 386-389. |
| Аннотация: | Предложен оригинальный метод селективного лазерного отжига многослойной структуры а-Si/SiO2/Si3N4/Si, с помощью которого были сформированы периодические структуры с поверхностным слоем в виде рекристаллизованных островков поликристаллического кремния с высоким уровнем легирования. Обнаружено, что формирование островкового слоя приводит к двукратному уменьшению коэффициент пропускания оптического излучения в инфракрасном диапазоне спектра. Показано, что основные отличия в поведении спектров пропускания исходной и структуры с островковым поверхностным слоем наблюдаются в дальней инфракрасной области (≥ 20 мкм). Результаты исследования интерпретированы с учетом предположения о возникновении в структуре с островковым поверхностным слоем, “мнимых” поверхностных плазмонов в терагерцовом диапазоне |
| Аннотация (на другом языке): | Periodic structures with an insular surface layer were formed on the basis of a multilayer silicon structure by selective laser annealing. It is found that the transmission coefficient of infrared radiation of a structure with an insular surface layer is less than that of the original structure. It is established that the occurrence of transmission peaks in the range of 2÷5 microns is associated with interference in the surface and dielectric layers. It is shown that the main differences in the behavior of the transmission spectra of the initial structure and the structure with an insular surface layer are observed in the far infrared region (≥ 20 microns). The results of the study are interpreted taking into account the assumption that “spoof” surface plasmons occur in structures with an insular surface layer |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271670 |
| Финансовая поддержка: | Исследования проводились при финансовой поддержке БРФФИ (проект № Т18Р-190), проекта ГПНИ (№ ГР 20212702), а также гранта Министерства образования, финансовый номер № 728/12 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Номер, дата депонирования: | № 010503112021, Деп. в БГУ 03.11.2021 |
| Располагается в коллекциях: | 2021. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 386-389.pdf | 967,71 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.