Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271046| Заглавие документа: | Особенности формирования многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления композиционных мишеней |
| Другое заглавие: | Features of the formation of multicomponent coatings by magnetron sputtering of composite targets / S.D. Latushkina, I.M. Romanov, O.I. Posylkina, A.G. Artemchik |
| Авторы: | Латушкина, С. Д. Романов, И. М. Посылкина, О. И. Артемчик, А. Г. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 561-564. |
| Аннотация: | Исследован процесс осаждения многокомпонентных покрытий Ti-Zr-N с использованием метода магнетронного распыления мишеней различных составов (TiN+Zr, Ti+Zr). Установлено, что применение композиционной мишени TiN+Zr при реактивном магнетронном распылении позволяет повысить скорость осаждения покрытий за счет снижения хемосорбции азота составляющими элементами материала мишени. Показано, что при распылении мишени TiN+Zr формируются покрытия Ti-Zr-N, отличающиеся высокой микротвердостью (до 35 ГПа) в более широком интервале давлений реакционного газа (1.8-2.6)·10 –2 Па, чем при использовании мишени Ti+Zr |
| Аннотация (на другом языке): | The process of deposition of multicomponent Ti-Zr-N coatings using the method of magnetron sputtering of targets of various compositions (TiN+Zr, Ti+Zr) is studied. It is established that the use of a composite target TiN+Zr in reactive magnetron sputtering allows to increase the deposition rate of coatings by reducing the chemisorption of nitrogen by the constituent elements of the target material. The study of the microhardness of coatings of the Ti – Zr – N shows that when the TiN+Zr target is sprayed, Ti-Zr-N coatings are formed, characterized by high microhardness (up to 35 GPa) in a wider range of reaction gas pressures (1.8-2.6)·10 -2 Pa than when using the Ti+Zr target |
| Доп. сведения: | Секция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий = Section 5. Radiation influence on coatings structure and properties |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271046 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Располагается в коллекциях: | 2021. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 561-564.pdf | 396,01 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.