Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271046| Title: | Особенности формирования многокомпонентных покрытий методом магнетронного распыления композиционных мишеней |
| Other Titles: | Features of the formation of multicomponent coatings by magnetron sputtering of composite targets / S.D. Latushkina, I.M. Romanov, O.I. Posylkina, A.G. Artemchik |
| Authors: | Латушкина, С. Д. Романов, И. М. Посылкина, О. И. Артемчик, А. Г. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 561-564. |
| Abstract: | Исследован процесс осаждения многокомпонентных покрытий Ti-Zr-N с использованием метода магнетронного распыления мишеней различных составов (TiN+Zr, Ti+Zr). Установлено, что применение композиционной мишени TiN+Zr при реактивном магнетронном распылении позволяет повысить скорость осаждения покрытий за счет снижения хемосорбции азота составляющими элементами материала мишени. Показано, что при распылении мишени TiN+Zr формируются покрытия Ti-Zr-N, отличающиеся высокой микротвердостью (до 35 ГПа) в более широком интервале давлений реакционного газа (1.8-2.6)·10 –2 Па, чем при использовании мишени Ti+Zr |
| Abstract (in another language): | The process of deposition of multicomponent Ti-Zr-N coatings using the method of magnetron sputtering of targets of various compositions (TiN+Zr, Ti+Zr) is studied. It is established that the use of a composite target TiN+Zr in reactive magnetron sputtering allows to increase the deposition rate of coatings by reducing the chemisorption of nitrogen by the constituent elements of the target material. The study of the microhardness of coatings of the Ti – Zr – N shows that when the TiN+Zr target is sprayed, Ti-Zr-N coatings are formed, characterized by high microhardness (up to 35 GPa) in a wider range of reaction gas pressures (1.8-2.6)·10 -2 Pa than when using the Ti+Zr target |
| Description: | Секция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий = Section 5. Radiation influence on coatings structure and properties |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271046 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Appears in Collections: | 2021. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 561-564.pdf | 396,01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.