Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/270580
Title: Разработка, изготовление, моделирование и анализ характеристик тестовых структур на основе SiGe : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. Ф. Макаренко
Authors: Макаренко, Л. Ф.
Казючиц, Н. М.
Казючиц, В. Н.
Левчук, Е. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургия
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Энергетика
Issue Date: 2021
Publisher: Минск : БГУ
Abstract: Объектами исследований являются n+–p- и p+–n-структуры на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, облученные электронами и альфа-частицами. Целями проекта являются определение электрических и атомных свойств радиационных дефектов, образующихся после облучения указанными видами частиц, нахождение взаимосвязи между параметрами исходных материалов, технологических процессов изготовления приборных структур и скоростью образования и устойчивостью радиационных дефектов в структурах на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, а также для разработки моделей, которые позволят интерпретировать экспериментальные данные по взаимодействию электронной подсистемы кристалла с радиационными дефектаими. В результате исследований в рамках НИР получены новые экспериментальные данные о свойствах дефектов междоузельного типа в n+–p-структурах на основе кремния и кремний-германиевых сплавов, облученных электронами и ионами гелия. Проведены исследования влияния различных термических обработок на содержание радиационно-индуцированных дефектов, связанных с бором и кислородом. Определены температуры их отжига. Установлено, что легирование германием не влияет на энергию активации отжига бор-кислородного комплекса. Показано, что более эффективным способом восстановления концентрации носителей заряда по сравнению с термическим отжигом является инжекционный отжиг.
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/270580
Appears in Collections:Отчеты 2021

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Отчет 20192664 Макаренко.doc4,25 MBMicrosoft WordView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.