Просмотр "2020. Материалы и структуры современной электроники" Авторы Телеш, Е. В.
Результаты 2 - 2 из 2
< предыдущий
| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
|---|---|---|---|
| 2020 | Формирование тонкопленочных структур SiOF / Si прямым осаждением из ионных пучков | Телеш, Е. В. |