Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/256155| Title: | Температурные поля в полупроводниковых кристаллических пластинах при ионной имплантации |
| Authors: | Новиков, А. П. Урбанович, А. И. Нгуен Ван Конг Хадарина, О. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 1993 |
| Publisher: | Минск : Университетское |
| Citation: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1993. – № 2. – С. 32-36. |
| Abstract: | Calculation results of unsteady— state thermal fields and comparative analysis of this fields with and without consideration of x and с dependences from temperature for ion beams with variable capacity are shown in this work |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/256155 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 1993, №2 (май) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.