Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/256155
Title: Температурные поля в полупроводниковых кристаллических пластинах при ионной имплантации
Authors: Новиков, А. П.
Урбанович, А. И.
Нгуен Ван Конг
Хадарина, О. С.
Issue Date: 1993
Publisher: Минск : Университетское
Citation: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1993. – № 2. – С. 32-36.
Abstract: Calculation results of unsteady— state thermal fields and comparative analysis of this fields with and without consideration of x and с dependences from temperature for ion beams with variable capacity are shown in this work
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/256155
ISSN: 0321-0367
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:1993, №2 (май)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
32-36.pdf213,69 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.