Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/254615
Title: Быстрые технические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.01 / Солодуха Виталий Александрович ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Authors: Солодуха, Виталий Александрович
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::МЕЖОТРАСЛЕВЫЕ ПРОБЛЕМЫ::Космические исследования
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Issue Date: 2020
Publisher: Минск
Abstract: Цель работы: установление закономерностей влияния быстрой термической обработки на поверхностные свойства кремния, диэлектрическме и ионно-легированные слои, твердофазный синтез PtSi и разработка технологических процессов, обеспечивающих улучшение электрических характеристик элементной базы для аэрокосмической техники.
Abstract (in another language): Purpose of work: determination of the influence regularities of the rapid thermal treatment on the surface properties of silicon, dielectric and ion-doped, layers, solid phase synthesis of PtSi and development of the technological processes, ensuring enhancement of the electric parameters of the element base for the aircpase hardware.
Description: Научная работа выполнена в Белорусском государственном университете и ОАО "Интеграл" - управляющей компании холдинга "Интеграл". Научный консультант - Пилипенко Владимир Александрович, член-корреспондент НАН Беларуси, доктор технических наук, профессор, заместитель директора по научному развитию ГЦ "Белмикроанализ" ОАО "Интеграл"
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/254615
Appears in Collections:05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Автореферат 05.27.01 Солодуха.pdf12,12 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.