Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/254615Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Солодуха, Виталий Александрович | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-26T08:54:17Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-26T08:54:17Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/254615 | - |
| dc.description | Научная работа выполнена в Белорусском государственном университете и ОАО "Интеграл" - управляющей компании холдинга "Интеграл". Научный консультант - Пилипенко Владимир Александрович, член-корреспондент НАН Беларуси, доктор технических наук, профессор, заместитель директора по научному развитию ГЦ "Белмикроанализ" ОАО "Интеграл" | ru |
| dc.description.abstract | Цель работы: установление закономерностей влияния быстрой термической обработки на поверхностные свойства кремния, диэлектрическме и ионно-легированные слои, твердофазный синтез PtSi и разработка технологических процессов, обеспечивающих улучшение электрических характеристик элементной базы для аэрокосмической техники. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::МЕЖОТРАСЛЕВЫЕ ПРОБЛЕМЫ::Космические исследования | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение | ru |
| dc.subject | 05.27.01 - твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | ru |
| dc.title | Быстрые технические процессы в технологии создания электронной элементной базы для аэрокосмической техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.01 / Солодуха Виталий Александрович ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| dc.description.alternative | Purpose of work: determination of the influence regularities of the rapid thermal treatment on the surface properties of silicon, dielectric and ion-doped, layers, solid phase synthesis of PtSi and development of the technological processes, ensuring enhancement of the electric parameters of the element base for the aircpase hardware. | ru |
| Располагается в коллекциях: | 05.27.01 – Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Автореферат 05.27.01 Солодуха.pdf | 12,12 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.