Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/25345
Title: | Стойкость к окислению резистов, полученных методом внедрения ионов в металлические матрицы на ситалловой подложке |
Authors: | Комаров, Ф. Ф. Поздеева, Т. В. Колковский, В. И. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2003 |
Publisher: | БГУ |
Citation: | Радиофизика и электроника. Сборник научных статей. |
Series/Report no.: | Серия 6; |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/25345 |
Appears in Collections: | Статьи |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.