Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/240520
Заглавие документа: | The formation of low-dimensional structures by compressive plasma flows |
Авторы: | Uglov, V. V. Anishchik, V. M. Cherenda, N. N. Sveshnikov, Yu. V. Astashynski, V. M. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2005 |
Издатель: | Elsevier B.V. |
Библиографическое описание источника: | Surface & Coatings Technology 200 (2005) 297 – 300 |
Аннотация: | The process of the deposition of low-dimensional structures on the silicon surface exposed to the compression plasma flow has been studied. Scanning electron microscopy, transmission electron microscopy and Rutherford backscattering spectroscopy have been used to analyze the morphology, microstructure and elemental composition of the near-surface layer. The deposited coating consists of a spherical metal containing particles with a size of 50–200 nm. Possible mechanism of the coating formation is discussed. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/240520 |
DOI документа: | 10.1016/j.surfcoat.2005.02.007 |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики твердого тела и нанотехнологий (статьи) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
SCT_200_2005_1.pdf | 639,68 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.