Моделирование источника ионов для ассистирования в процессах нанесения тонкопленочных структур : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель К. В. Козадаев

Abstract

Объектом исследования являются характеристики ионных потоков, генерируемых устройствами ионного ассистирования. Цели проекта: разработка компьютерной модели ионного потока, генерируемого устройством ионного ассистирования (круглый и линейный источник), выработка рекомендаций по оптимизации характеристик устройства для получения равномерного распределения ионного тока по обрабатываемой поверхности на заданном расстоянии. Основным методом исследований является компьютерное моделирование трехмерных электромагнитных структур. В результате созданы модели устройства ионного ассистирования (источника), пучков заряженных частиц, эмитируемых источником, их траекторий, исследованы распределения частиц в сечениях, взятых на разных расстояниях от источника, определены значения параметров частиц и источника для получения равномерного распределения частиц в сечениях на определенных расстояниях, выработаны рекомендации по оптимизации характеристик устройства для получения равномерного распределения ионного тока по обрабатываемой поверхности на заданном расстоянии.