Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/237484
Title: Моделирование источника ионов для ассистирования в процессах нанесения тонкопленочных структур : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель К. В. Козадаев
Authors: Козадаев, К. В.
Козлова, Е. И.
Лобановский, Л. С.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Автоматика. Вычислительная техника
Issue Date: 2019
Publisher: Минск : БГУ
Abstract: Объектом исследования являются характеристики ионных потоков, генерируемых устройствами ионного ассистирования. Цели проекта: разработка компьютерной модели ионного потока, генерируемого устройством ионного ассистирования (круглый и линейный источник), выработка рекомендаций по оптимизации характеристик устройства для получения равномерного распределения ионного тока по обрабатываемой поверхности на заданном расстоянии. Основным методом исследований является компьютерное моделирование трехмерных электромагнитных структур. В результате созданы модели устройства ионного ассистирования (источника), пучков заряженных частиц, эмитируемых источником, их траекторий, исследованы распределения частиц в сечениях, взятых на разных расстояниях от источника, определены значения параметров частиц и источника для получения равномерного распределения частиц в сечениях на определенных расстояниях, выработаны рекомендации по оптимизации характеристик устройства для получения равномерного распределения ионного тока по обрабатываемой поверхности на заданном расстоянии.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/237484
Registration number: № госрегистрации 20190019
Appears in Collections:Отчеты 2019

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Отчет 20190019 Козадаев.docx12,16 MBMicrosoft Word XMLView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.