Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/236061
Заглавие документа: | Образование и отжиг радиационных дефектов в кремнии, имплантированном ионами водорода |
Авторы: | Гиро, А. В. Покотило, Ю. М. Петух, А. Н. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | сен-2019 |
Издатель: | Белорусский государственный университет |
Библиографическое описание источника: | Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2019. 3. С. 68-72. |
Аннотация: | Энергетический спектр уровней радиационных дефектов в эпитаксиальном кремнии n-типа, облученном ионами водорода с энергией 300 кэВ, исследовался при помощи метода DLTS (deep level transient spectroscopy). Обнаружено увеличение амплитуды пика DLTS с ростом температуры его регистрации, что свидетельствует об образовании областей скопления дефектов с невысокой плотностью смещения, меньшей исходного уровня легирования. После выдержки облученных образцов при комнатной температуре в течение нескольких месяцев данные области распадаются с образованием точечных изолированных А-, Е-центров и водородосодержащих дефектов с уровнем Ес– 0,31 эВ. Установлено, что комплексы с таким уровнем образуются путем присоединения к А-центру атомов водорода. При температуре Т > 150 °С этот дефект начинает отжигаться, и одновременно увеличивается концентрация А-центра. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/236061 |
ISSN: | 2520-2243 2617-3999 online |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики твердого тела и нанотехнологий (статьи) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
1970-Текст статьи-14415-1-9-20191001.pdf | 362,8 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.