Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/236061
Title: Образование и отжиг радиационных дефектов в кремнии, имплантированном ионами водорода
Authors: Гиро, А. В.
Покотило, Ю. М.
Петух, А. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: Sep-2019
Publisher: Белорусский государственный университет
Citation: Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2019. 3. С. 68-72.
Abstract: Энергетический спектр уровней радиационных дефектов в эпитаксиальном кремнии n-типа, облученном ионами водорода с энергией 300 кэВ, исследовался при помощи метода DLTS (deep level transient spectroscopy). Обнаружено увеличение амплитуды пика DLTS с ростом температуры его регистрации, что свидетельствует об образовании областей скопления дефектов с невысокой плотностью смещения, меньшей исходного уровня легирования. После выдержки облученных образцов при комнатной температуре в течение нескольких месяцев данные области распадаются с образованием точечных изолированных А-, Е-центров и водородосодержащих дефектов с уровнем Ес– 0,31 эВ. Установлено, что комплексы с таким уровнем образуются путем присоединения к А-центру атомов водорода. При температуре Т > 150 °С этот дефект начинает отжигаться, и одновременно увеличивается концентрация А-центра.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/236061
ISSN: 2520-2243
2617-3999 online
Appears in Collections:Кафедра энергофизики

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1970-Текст статьи-14415-1-9-20191001.pdf362,8 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.