Метод контроля тока первичных и вторичных ионов в лазерноплазменном источнике нанесения нанопленок

Гончаров, В. К.; Пехота, А. А.; Пузырев, М. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/233852

Title:	Метод контроля тока первичных и вторичных ионов в лазерноплазменном источнике нанесения нанопленок
Other Titles:	Control Method of the Primary and Secondary Ions Current from the Substrate in the Laser Plasma Source of a Deposition Nanofilms / V.K. Goncharov, A.A. Pehota, М.V. Puzyrev
Authors:	Гончаров, В. К. Пехота, А. А. Пузырев, М. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2019
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 508-510.
Abstract:	В лазерноплазменном источнике экспериментально получены ионные потоки, в которых регулируются как энергия ионов, так и плотность ионного потока. Рассмотрены режимы травления и нанесения покрытий на подложку ионными потоками. Предложен метод контроля параметров первичного ионного потока, падающего на подложку, и параметров вторичного ионного потока с подложки.
Abstract (in another language):	Ion fluxes experimentally are obtained in a laser-plasma source. The ion energy and the ion density are controlled in this flux. The regime of etching and deposition on the substrate by fluxes streams are considered. A method is proposed for controlling the parameters of the primary ion flux, which is fed to the substrate, and the parameters of the secondary ion flux from the substrate.
Description:	Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in Equipment and Technologies
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/233852
ISSN:	2663-9939
Appears in Collections:	2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
508-510.pdf		352,02 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar