Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/233852Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Гончаров, В. К. | |
| dc.contributor.author | Пехота, А. А. | |
| dc.contributor.author | Пузырев, М. В. | |
| dc.date.accessioned | 2019-11-13T10:39:29Z | - |
| dc.date.available | 2019-11-13T10:39:29Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 508-510. | |
| dc.identifier.issn | 2663-9939 | |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/233852 | - |
| dc.description | Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in Equipment and Technologies | |
| dc.description.abstract | В лазерноплазменном источнике экспериментально получены ионные потоки, в которых регулируются как энергия ионов, так и плотность ионного потока. Рассмотрены режимы травления и нанесения покрытий на подложку ионными потоками. Предложен метод контроля параметров первичного ионного потока, падающего на подложку, и параметров вторичного ионного потока с подложки. | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | Минск : БГУ | |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
| dc.title | Метод контроля тока первичных и вторичных ионов в лазерноплазменном источнике нанесения нанопленок | |
| dc.title.alternative | Control Method of the Primary and Secondary Ions Current from the Substrate in the Laser Plasma Source of a Deposition Nanofilms / V.K. Goncharov, A.A. Pehota, М.V. Puzyrev | |
| dc.type | conference paper | |
| dc.description.alternative | Ion fluxes experimentally are obtained in a laser-plasma source. The ion energy and the ion density are controlled in this flux. The regime of etching and deposition on the substrate by fluxes streams are considered. A method is proposed for controlling the parameters of the primary ion flux, which is fed to the substrate, and the parameters of the secondary ion flux from the substrate. | |
| Appears in Collections: | 2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 508-510.pdf | 352,02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.