Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/226521| Заглавие документа: | Выращивание полупроводниковых алмазных поликристаллических тонких пленок в высокочастотном разряде низкого давления |
| Авторы: | Никифоренко, Н. Н. Лабуда, А. А. Ткачев, И. П. Бондаренок, В. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1999 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1999. – № 1. – С. 22-26. |
| Аннотация: | The high-frequency vacuum-plasma plant for synthesis of diamond polycrystalline films from methanol vapors was created. It is distinguished for low energy consumption and material expenditure. The growth technology of diamond polycrystalline films 200—300 nm in thickness exhibiting good thermal sensitivity was worked out. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/226521 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1999, №1 (январь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.