Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/226521
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorНикифоренко, Н. Н.-
dc.contributor.authorЛабуда, А. А.-
dc.contributor.authorТкачев, И. П.-
dc.contributor.authorБондаренок, В. П.-
dc.date.accessioned2019-08-07T10:57:21Z-
dc.date.available2019-08-07T10:57:21Z-
dc.date.issued1999-
dc.identifier.citationВестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1999. – № 1. – С. 22-26.ru
dc.identifier.issn0321-0367-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/226521-
dc.description.abstractThe high-frequency vacuum-plasma plant for synthesis of diamond polycrystalline films from methanol vapors was created. It is distinguished for low energy consumption and material expenditure. The growth technology of diamond polycrystalline films 200—300 nm in thickness exhibiting good thermal sensitivity was worked out.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : Універсітэцкаеru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleВыращивание полупроводниковых алмазных поликристаллических тонких пленок в высокочастотном разряде низкого давленияru
dc.typearticleru
Располагается в коллекциях:1999, №1 (январь)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
22-26.pdf655,52 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.