Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223868| Заглавие документа: | Генератор многокомпонентной плазмы, получаемый катодным распылением |
| Авторы: | Потемкин, Г. В. Лигачев, А. Е. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 395-397. |
| Аннотация: | Приведены результаты исследований генерации газометаллической плазмы с плотностью n(e) ≤ 10^12 см^3, получаемой с помощью распыления стержневых электродов плазмой разряда низкого давления. Рассмотрены вопросы получения потоков атомов рабочего вещества под действием разряда низкого давления и постионизации нейтральных частиц. Газометаллическая плазма использовалась для формирования смешанных пучков ионов, применяемых в технологии. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223868 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 395-397.pdf | 616,75 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.