Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223868| Title: | Генератор многокомпонентной плазмы, получаемый катодным распылением |
| Authors: | Потемкин, Г. В. Лигачев, А. Е. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 395-397. |
| Abstract: | Приведены результаты исследований генерации газометаллической плазмы с плотностью n(e) ≤ 10^12 см^3, получаемой с помощью распыления стержневых электродов плазмой разряда низкого давления. Рассмотрены вопросы получения потоков атомов рабочего вещества под действием разряда низкого давления и постионизации нейтральных частиц. Газометаллическая плазма использовалась для формирования смешанных пучков ионов, применяемых в технологии. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223868 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 395-397.pdf | 616,75 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.