Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223846| Title: | Применение ионного распыления для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин |
| Authors: | Емельянов, А. В. Сякерский, В. С. Ухов, В. А. Чигирь, Г. Г. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 364-365. |
| Abstract: | Для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин после полировки был предложен и разработан новый метод, который основывается на зависимости выхода оже электронов от плотности материала при прочих равных условиях. Распыляя поверхность полированной кремниевой пластины ионами аргона с одновременным измерениями интенсивности оже-лектронов можно определить глубину нарушенного слоя. Распыление проводится до тех пор, пока интенсивность оже-электронов не становится постоянной, что соответствует выходу на монокристаллический кремний. Метод позволяет определять глубины нарушенного слоя кремниевых пластин начиная с 1-3 нм. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223846 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 364-365.pdf | 430,08 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.