Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223846Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Сякерский, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Ухов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Чигирь, Г. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-07-15T07:17:21Z | - |
| dc.date.available | 2019-07-15T07:17:21Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 364-365. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-476-530-3 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223846 | - |
| dc.description.abstract | Для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин после полировки был предложен и разработан новый метод, который основывается на зависимости выхода оже электронов от плотности материала при прочих равных условиях. Распыляя поверхность полированной кремниевой пластины ионами аргона с одновременным измерениями интенсивности оже-лектронов можно определить глубину нарушенного слоя. Распыление проводится до тех пор, пока интенсивность оже-электронов не становится постоянной, что соответствует выходу на монокристаллический кремний. Метод позволяет определять глубины нарушенного слоя кремниевых пластин начиная с 1-3 нм. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : Изд. центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Применение ионного распыления для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 364-365.pdf | 430,08 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.