Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223846| Заглавие документа: | Применение ионного распыления для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин |
| Авторы: | Емельянов, А. В. Сякерский, В. С. Ухов, В. А. Чигирь, Г. Г. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 364-365. |
| Аннотация: | Для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин после полировки был предложен и разработан новый метод, который основывается на зависимости выхода оже электронов от плотности материала при прочих равных условиях. Распыляя поверхность полированной кремниевой пластины ионами аргона с одновременным измерениями интенсивности оже-лектронов можно определить глубину нарушенного слоя. Распыление проводится до тех пор, пока интенсивность оже-электронов не становится постоянной, что соответствует выходу на монокристаллический кремний. Метод позволяет определять глубины нарушенного слоя кремниевых пластин начиная с 1-3 нм. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223846 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 364-365.pdf | 430,08 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.