Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223846
Title: Применение ионного распыления для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин
Authors: Емельянов, А. В.
Сякерский, В. С.
Ухов, В. А.
Чигирь, Г. Г.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 364-365.
Abstract: Для контроля глубины нарушенного слоя кремниевых пластин после полировки был предложен и разработан новый метод, который основывается на зависимости выхода оже электронов от плотности материала при прочих равных условиях. Распыляя поверхность полированной кремниевой пластины ионами аргона с одновременным измерениями интенсивности оже-лектронов можно определить глубину нарушенного слоя. Распыление проводится до тех пор, пока интенсивность оже-электронов не становится постоянной, что соответствует выходу на монокристаллический кремний. Метод позволяет определять глубины нарушенного слоя кремниевых пластин начиная с 1-3 нм.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223846
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
364-365.pdf430,08 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.