Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223827| Title: | Исследование процесса нанесения тонких пленок оксида цинка методом распыления в вакууме |
| Authors: | Кайдов, О. Л. Котов, Д. А. Завадский, С. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 312-314. |
| Abstract: | Представлены результаты экспериментального исследования процесса нанесения тонкопленочных слоев оксида цинка методами ионно-лучевого и магнетронного распыления мишеней оксида цинка с различной проводимостью. Показано, что при распылении нелегированных оксидных мишеней методом ионно-лучевого распыления обеспечивается высокая прозрачность осажденных слоев в сочетании с высоким электрическим сопротивлением Установлено, что термическая обработка нелегированных мишеней оксида цинка в азотсодержащей среде способствует снижению их электрического сопротивления. Изучены возможности распыления проводящей керамической мишени оксида цинка методом магнетронного распыления. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223827 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 312-314.pdf | 606,55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.