Исследование процесса нанесения тонких пленок оксида цинка методом распыления в вакууме

Abstract

Представлены результаты экспериментального исследования процесса нанесения тонкопленочных слоев оксида цинка методами ионно-лучевого и магнетронного распыления мишеней оксида цинка с различной проводимостью. Показано, что при распылении нелегированных оксидных мишеней методом ионно-лучевого распыления обеспечивается высокая прозрачность осажденных слоев в сочетании с высоким электрическим сопротивлением Установлено, что термическая обработка нелегированных мишеней оксида цинка в азотсодержащей среде способствует снижению их электрического сопротивления. Изучены возможности распыления проводящей керамической мишени оксида цинка методом магнетронного распыления.