Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223827| Заглавие документа: | Исследование процесса нанесения тонких пленок оксида цинка методом распыления в вакууме |
| Авторы: | Кайдов, О. Л. Котов, Д. А. Завадский, С. М. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 312-314. |
| Аннотация: | Представлены результаты экспериментального исследования процесса нанесения тонкопленочных слоев оксида цинка методами ионно-лучевого и магнетронного распыления мишеней оксида цинка с различной проводимостью. Показано, что при распылении нелегированных оксидных мишеней методом ионно-лучевого распыления обеспечивается высокая прозрачность осажденных слоев в сочетании с высоким электрическим сопротивлением Установлено, что термическая обработка нелегированных мишеней оксида цинка в азотсодержащей среде способствует снижению их электрического сопротивления. Изучены возможности распыления проводящей керамической мишени оксида цинка методом магнетронного распыления. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223827 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 312-314.pdf | 606,55 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.