Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223826| Title: | Оптические и структурные свойства пленок кремния, полученных методами ионно-лучевого и магнетронного распыления |
| Authors: | Кайдов, О. Л. Завадский, С. М. Коробко, А. О. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 309-311. |
| Abstract: | Представлены результаты экспериментального исследования процессов осаждения тонкопленочных кремниевых слоев, полученных методами ионно-лучевого и магнетронного распыления. Определены основные спектральные характеристики полученных пленок. Исследовано влияние термического отжига на характер оптического поглощения пленок кремния. Методом рентгеноструктурного анализа установлено, что пленки кремния, осажденные методом магнетронного ионно-ассистированного распыления с последующим термическим отжигом при температуре около 450 °С, имеют поликристаллическую структуру. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223826 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 309-311.pdf | 585,39 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.