Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223826
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorКайдов, О. Л.-
dc.contributor.authorЗавадский, С. М.-
dc.contributor.authorКоробко, А. О.-
dc.date.accessioned2019-07-15T06:19:34Z-
dc.date.available2019-07-15T06:19:34Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 309-311.ru
dc.identifier.isbn978-985-476-530-3-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/223826-
dc.description.abstractПредставлены результаты экспериментального исследования процессов осаждения тонкопленочных кремниевых слоев, полученных методами ионно-лучевого и магнетронного распыления. Определены основные спектральные характеристики полученных пленок. Исследовано влияние термического отжига на характер оптического поглощения пленок кремния. Методом рентгеноструктурного анализа установлено, что пленки кремния, осажденные методом магнетронного ионно-ассистированного распыления с последующим термическим отжигом при температуре около 450 °С, имеют поликристаллическую структуру.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : Изд. центр БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleОптические и структурные свойства пленок кремния, полученных методами ионно-лучевого и магнетронного распыленияru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
309-311.pdf585,39 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.